日前國內半導體設備公司至純科技在互動平臺表示，目前至純科技28納米節點全部濕法工藝設備已認證完畢。

至純科技表示，國內目前有三家在濕法工藝設備端提供中高階濕法制程設備，分別是至純科技、北方華創和盛美，國內廠商的市場占比在逐年上升中。

除了28nm工藝節點之外，上海證券報告中指出，至純科技14nm及7nm工藝預計2022年可供客戶驗證，客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、臺灣力晶等行業領先者。

2020年濕法設備出貨量超過30臺，新增訂單5.3億元，增長211.8%。

官網介紹，至純科技成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技術企業，證券代碼603690.SH。

公司坐落于上海紫竹這個國家級科學園區內，注冊資本2.08億元，致力于為高端先進制造業企業提供高純工藝系統的解決方案。

系統解決方案涵蓋了提供整個系統的設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務。 至純提供的系統和專業服務，廣泛應用于半導體、微電子、生物醫藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED等領域。

關鍵詞： 至純科技 工藝 華虹集團 長鑫存儲